沃格尔：一个"工具人"的自我修养

沃格修徐冰亮 国网黑龙江省电力有限公司电力科学研究院

个工2 光刻机就像面条机光刻机类似于一个面条机，具人是加工制作“面条”——芯片的核心设备。不同的面条机，具人做出来的面条质量并不相同，有的粗，有的细，有的慢，有的快。

光刻机能够做出来多小的图形尺寸，沃格修跟光刻机的结构和性能有关。因此，沃格修光刻机自发明之后，为了使造出来的“面条”效果更好，人类对光刻机进行了不断的改进。首先是曝光光源的更新换代。从最初的436纳米波长光源，个工到DUV（深紫外）所用的248纳米和193纳米波长，个工再到目前最顶级的EUV（极紫外）13.5纳米波长，光源波长不断缩小，曝光能够获得的分辨率自然不断提高。如果从使用光源来看，光刻机的发展主要经历了5代，类似于一个面条机从1.0到5.0的版本。具人光刻机主要发展历程

沃格修再就是光学系统结构的演进。20世纪六七十年代，个工接触式光刻机是集成电路制造的主流设备。这种机器曝光过程中掩膜版与硅片上的光刻胶直接接触，个工优点是可以减小光的衍射效应，缺点是会污染损坏掩膜版和光刻胶，缩短掩膜版使用寿命，且极易形成图形缺陷，影响良率。

为了解决上述问题，具人20世纪70年代开始采用接近式光刻机。这种光刻机在掩膜版和硅片之间有微小间距，具人由于掩膜版和硅片间距越小，光刻工艺的分辨率越高，当二者间距接近几十微米时，就很难再减小，而且会受衍射效应的影响。

1973年，沃格修美国PerkinElmer公司推出首台扫描投影光刻机。这种光刻机与以往光刻机不同在于，沃格修光刻时以成像方式将掩膜图形投影转移到硅片上，分辨率由成像系统投影物镜的数值孔径（光学术语）决定。海外网10月20日电美国马里兰州一名二战女兵在102岁首次实现了跳伞的愿望，个工她表示这是受到前总统老布什的启发。

据美国合众国际社报道，具人二战老兵薇薇安·贝利在一档电视节目中亮相，具人制片人问她的遗愿清单上有没有一项事情她从来没有做过。贝利笑着说，“你不会相信的，我想做的是像布什总统那样做一次跳伞。他这么做让我受到了启发。这个年纪的人也可以跳伞。”贝利说，跳伞只是一个梦想，她负担不起双人跳伞费用，要花费300美元。节目组决定出钱帮助贝利完成这个愿望，沃格修并计划拍一部电影，沃格修制片人埃里克·罗伯特说：“这部电影的结局可能会非常刺激，贝利也许将成为第一位登上火星的102岁老人！”跳伞当天，数十名贝利的家庭成员、朋友、以及当地官员和居民一起出现在现场。

贝利在跳伞完成后说：个工“太棒了，个工真的很刺激！有一分钟我很害怕，感觉自己在翻滚。”当被教练问会不会再尝试一次时，贝利笑着说：“一次就够了！”（海外网 李芳）美联储资深经济学家查尔斯·埃文斯在10月21日表示，具人美国正在以“相当高”的速度购买债券，具人如果需要的话，美联储可能会购买比现在更多的资产，并表示美国将需要再增加3.5万亿的量化宽松政策以抵消美联储无法将利率降至零以下的情况，在过去的28周内，美国已向市场投放超16万亿的基础货币流动性和各类经济刺激方案。